Razprševanje tarče, kot osrednja tehnologija površinskega inženiringa in tehnologije tankih filmov, se nanaša na uporabo ionov ali drugih nabitih delcev, da zadenejo tarčo v visokoenergijskem stanju, s čimer se sproži prenos kinetične energije in transport materiala ciljnih atomov ali molekul . Vzbujeni atomi ali molekule se odcepijo od tarčne površine in se nanesejo na substrat v hitrem gibanju ter tvorijo tanek film z enotno ali specifično strukturo.
1. Razvrstitev
(1) DC razprševanje
Načelo: razprševanje z enosmernim tokom kot vir energije uporablja vir konstantne enosmerne napetosti in je v glavnem primerno za tarče z dobro prevodnostjo, kot so kovine.
Značilnosti: Prednosti so preprosta oprema, enostavno upravljanje in visoka stopnja nanašanja. To ne velja za izolacijske materiale, saj ne morejo vzpostaviti učinkovitega transporta naboja.
(2) Radiofrekvenčno razprševanje
Načelo: Radiofrekvenčno razprševanje uporablja radiofrekvenčno moč (običajno v območju MHz), tako da je mogoče napršiti tudi neprevodne materiale (kot so keramika, oksidi).
Značilnosti: Sposobnost brizganja izolacijskih materialov z večjo enakomernostjo nanosa. Vendar pa so zaradi zapletenega sistema napajanja in nadzora stroški in težave pri vzdrževanju relativno visoki.
(3) Magnetronsko razprševanje
Načelo: Na podlagi tradicionalnega razprševanja se magnetno polje ustvari s postavitvijo magnetov blizu tarče, s čimer se povečata gostota in stabilnost plazme.
Značilnosti: izboljšana učinkovitost razprševanja in kakovost filma, zmanjšana ciljna poraba. Lahko deluje pri nižjem zračnem tlaku, s čimer se zmanjša vpliv delcev plina na film.
(4) Reaktivno razprševanje
Načelo: Med postopkom razprševanja se v delovno atmosfero vnesejo reaktivni plini (kot sta kisik, dušik), da kemično reagirajo s ciljnimi atomi in tvorijo sestavljen film.
Značilnosti: Pripraviti je mogoče različne sestavljene filme, kot so oksidi, nitridi, karbidi itd. Vendar je nadzor zapleten in zahteva natančno nastavitev pretoka in tlaka reaktivnega plina.
(5) Visoko zmogljivo impulzno magnetronsko razprševanje
Načelo: uporabite visoko zmogljivo impulzno napajanje za ustvarjanje plazme visoke gostote za kratek čas, da povečate hitrost razprševanja.
Značilnosti: Dobite lahko bolj gladke in gostejše filme. Toda zaradi visoke porabe energije sta upravljanje toplote in vzdržljivost naprave izziv.
2. Uporaba
(1) Industrija polprevodnikov
Tehnologija razprševanja se uporablja za nanašanje prevodnih, izolacijskih in zaščitnih plasti, ki so ključne za izdelavo visoko zmogljivih integriranih vezij in mikroelektronskih naprav.
(2) Optične aplikacije
Ogledala in antirefleksni premazi: Tanki filmi, pripravljeni s tehnikami brizganja, se lahko uporabljajo za izdelavo različnih optičnih komponent, kot so leče, leče in ogledala v laserskih sistemih. Tudi plast, ki absorbira svetlobo, in prevodna plast v sončnih celicah sta pogosto pripravljena z naprševanjem.
(3) Dekorativni premaz
Avtomobilska in gradbena industrija: Napršene folije se uporabljajo za dekorativne premaze na avtomobilskih delih in gradbenih materialih, ne le da zagotavljajo estetski videz, ampak tudi povečujejo odpornost materiala proti obrabi in koroziji. Tudi ohišja in okrasni deli potrošniške elektronike, kot so mobilni telefoni in računalniki, pogosto uporabljajo tehnologijo naprševanja za prevleko odpornih in lepih filmov.
(4) Posebne funkcionalne folije
Na površine orodij in kalupov lahko nanese visokotrdotne in proti obrabi odporne filme za podaljšanje življenjske dobe orodja. Poleg tega se napršene folije lahko uporabljajo za prilagajanje prepustnosti svetlobe v tehnologiji pametnih oken za zgradbe in avtomobile.
(5) Biomedicinsko področje
Biokompatibilne folije se na splošno nanesejo s tehnikami naprševanja, da se poveča združljivost umetnih sklepov ali zobnih vsadkov s človeškim telesom.
FANMETAL lahko strankam ponudi različne kovinske tarče za brizganje, kot so tarče za brizganje iz titana, aluminija, tarče iz volframa in tarče za brizganje iz kroma itd.
