Vakuumsko uparjevalni premaz je uporaba uporovnega segrevanja ali obstreljevanja z elektronskim žarkom in laserjem za segrevanje materiala, ki ga je treba upariti, na določeno temperaturo v okolju s stopnjo vakuuma, ki ni nižja od 10-2Pa, tako da energija toplotnih vibracij molekul ali atomov v materialu presega površino Energija vezave povzroči, da veliko število molekul ali atomov izhlapi ali sublimira in se neposredno odloži na substrat, da tvori tanek film.
Najpogosteje uporabljena metoda za vakuumsko izhlapevanje je uporovno ogrevanje, katerega prednosti so preprosta struktura vira ogrevanja, nizki stroški in priročno delovanje. Pomanjkljivost je, da ni primeren za ognjevarne kovine in dielektrične materiale, odporne na visoke temperature.
Prevleka z ionskim naprševanjem uporablja visokohitrostno gibanje pozitivnih ionov, ki nastanejo pri razelektritvi plina, za bombardiranje tarče kot katode pod delovanjem električnega polja, kar povzroči, da atomi ali molekule v tarči uidejo in se oborijo na površini prevlečenega obdelovanca. za oblikovanje zahtevanega filma. .
Tehnologija brizganja se razlikuje od tehnologije vakuumskega izparevanja. "Razprševanje" se nanaša na pojav, pri katerem nabiti delci bombardirajo trdno površino (tarčo), kar povzroči, da se trdni atomi ali molekule izvržejo s površine. Večina izvrženih delcev je v atomskem stanju, ki se pogosto imenuje razpršeni atomi. Razpršeni delci, ki se uporabljajo za bombardiranje tarče, so lahko elektroni, ioni ali nevtralni delci. Ker je ione enostavno pospešiti, da pridobijo potrebno kinetično energijo pod električnim poljem, se ioni večinoma uporabljajo kot obstreljevalni delci. Vsi razpršeni ioni izvirajo iz plinske razelektritve.
Različne tehnologije razprševanja uporabljajo različne metode praznjenja. Razprševanje z enosmerno diodo uporablja enosmerno razelektritev; tripolno razprševanje uporablja razelektritev, ki jo podpira vroča katoda; radiofrekvenčno razprševanje uporablja radiofrekvenčno razelektritev; magnetronsko razprševanje uporablja razelektritev, ki jo nadzira obročno magnetno polje.
Prevleka z brizganjem ima veliko prednosti pred prevleko z vakuumskim izparevanjem. Na primer, lahko se razprši katera koli snov, zlasti elementi in spojine z visokim tališčem in nizkim parnim tlakom. Oprijem med napršeno folijo in podlago je dober; gostota filma je visoka; debelino filma je mogoče nadzorovati in ponovljivost je dobra, itd. Pomanjkljivost je, da je oprema relativno zapletena in zahteva visokonapetostno opremo.
Seveda so prednosti metode ionske prevleke, ki združuje izhlapevanje in razprševanje, ta, da ima izjemno močan oprijem med filmom in substratom, ima visoko stopnjo nanašanja in lahko proizvede visoko zmogljive filme za uporabo v elektronskih napravah. Metalurška predelava in industrija dekorativnih materialov.
