Magnetronsko razprševanje je nova vrsta metode fizikalnega naparjevanja, ki uporablja sistem elektronske pištole za oddajanje in fokusiranje elektronov na material, ki ga je treba prevleči, tako da razpršeni atomi sledijo načelu pretvorbe momenta, tako da ima material višjo mehansko lastnosti. Material, ki ga je treba prevleči, se imenuje tarča za brizganje, ki vključuje predvsem kovine, zlitine in keramične spojine. FANMETAL lahko strankam zagotovi visokokakovostne kovinske tarče, kot so npr.Tarča za naprševanje čistega kroma, zlata razpršilna tarča,Tarča za razprševanje iz titana in aluminijain tarča za naprševanje bakra. Prosimo, pošljite nam e-pošto in nam povejte svoje potrebe.
1. Čistost
Čistost je eden glavnih indikatorjev uspešnosti tarče, saj ima čistost tarče velik vpliv na učinkovitost filma. Vendar pa so v praktičnih aplikacijah tudi zahteve glede čistosti tarče drugačne. Na primer, s hitrim razvojem mikroelektronske industrije je velikost silicijevih rezin narasla s 6", 8" na 12", širina ožičenja pa se je zmanjšala s 0.5um na 0 .25um, 0.18um ali celo 0.13um. Prejšnja ciljna čistost je bila 99,995 odstotka Lahko izpolni procesne zahteve 0.35um IC, medtem ko priprava {{15 }}.18um črte zahtevajo 99,999 odstotkov ali celo 99,9999 odstotkov ciljne čistosti.
2. Vsebnost nečistoč
Nečistoče v ciljni trdni snovi ter kisik in vlaga v porah so glavni viri onesnaženja nanesenega filma. Ciljni materiali za različne namene imajo različne zahteve za različne vsebnosti nečistoč. Na primer, cilji iz čistega aluminija in aluminijevih zlitin, ki se uporabljajo v industriji polprevodnikov, imajo posebne zahteve glede vsebnosti alkalijskih kovin in vsebnosti radioaktivnih elementov.
3. Gostota
Da bi zmanjšali pore v trdni tarči in izboljšali učinkovitost napršenega filma, mora imeti tarča običajno večjo gostoto. Gostota tarče ne vpliva samo na hitrost razprševanja, temveč tudi na električne in optične lastnosti filma. Večja kot je ciljna gostota, boljša je učinkovitost filma. Poleg tega povečanje gostote in trdnosti tarče omogoča, da tarča bolje prenese toplotno obremenitev med postopkom naprševanja. Gostota je tudi eden ključnih kazalnikov uspešnosti cilja.
4. Velikost zrn in porazdelitev velikosti zrn
Običajno je ciljni material polikristalna struktura, velikost zrn pa lahko sega od mikronov do milimetrov. Pri istem tarčnem materialu je hitrost razprševanja tarče z drobnimi zrni hitrejša kot pri tarči z grobimi zrni; in porazdelitev debeline filma, nanesenega z naprševanjem z manjšo razliko v velikosti zrn (enakomerna porazdelitev), je bolj enakomerna.
